蔡司 EVO 系列模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應用
EVO系列將掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結合在一起， 同時能夠吸引經驗用戶以及新用戶。無論是在生命科學， 材料科學， 或例行的工業質量保證和失效分析領域，憑借可選配置， EVO 可以根據您的要求定制。
可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學， 少了培訓，甚至新用戶在幾分鐘內也能夠捕捉的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執行可重復檢查任務的工業操作員。
圖像質量
EVO 擅長于對未經處理和沒有導電涂層的樣品獲取數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態， 維持含水和重污染樣品的數據質量。此外當成像和微量分析面臨挑戰時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
其它設備相關聯
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區域，并以多種方式收集數據，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關聯，進行關聯顆粒度分析。
適合更多用戶操作
在實際的實驗室環境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領域。但是對于非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰，EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求。
智能導航與成像
蔡司導航相機
相機可以安裝在倉室前方， 以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導航相機)， 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學顯微鏡圖像中識別出的預定義位置， 并在整個樣品測試過程中輕松導航。
自動化智能成像
EVO實現了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區域，自動生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產出。
使用六硼化鑭(LaB6) 電子發射器能夠獲得更好的圖像
六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發夾燈絲所發射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質量。這種優勢體現在以下兩個方面:
EVO 能夠與其它設備相關聯
Shuttle & Find 將EVO、光學顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個關聯的、多模態工作流程
由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統的供應商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結合，使其功能能夠發揮得更好。
通過使用Shuttle & Find（蔡司關聯顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數碼）光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯用的工作流程。將光學顯微鏡光學對比方法與掃描電鏡成像和分析方法相結合， 獲得互補的數據， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質量或失效機理
能譜整體解決方案
EVO可以配置集成的 EDS 系統， EVO Element通過只使用一臺電腦來控制 EDS 和 SEM， 從而提高了可用性。同時通過為顯微鏡和 EDS 控制提供專用的用戶界面， 可以實現并行控制。
EVO 系列
真空室尺寸選擇
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樣品高度 |
100 mm |
145 mm |
210 mm |
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樣品直徑 |
230 mm |
250 mm |
300 mm |
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電動載物臺行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm |
125 x 125 x 50 mm |
130 x 130 x 50 (或 80) mm |
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高真空模式 (HV) |
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可變壓力模式 (VP) 不導電且不噴涂導電層樣品的高質量成像和分析 |
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擴展壓力模式 (EP) |
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